美国ZYGO激光干涉仪GPI XP/D

系统：

◆测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面形貌及特性

◆测量方法：激光3维相移干涉法

◆测量功能：精密测量各种不同反射面或光学面的形貌及特性

◆测量光束直径：4″(102 mm)和6″(152 mm)

◆配置：水平式,立式向下或立式向上

◆光学中心线 ：4.25″(108 mm)

◆对准系统 ：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

◆放大范围： 6:1（非连续式放大，低失真）

◆调整可视范围：4″: ±3° 6″: ±2 °

◆光曈调焦范围：-800 mm/+1600 mm， 4″孔径

◆样件观察：计算机实时显示/单独监视器

◆计算机： DELL PC；配有硬盘，光驱，17英寸液晶彩显,可选配打印机

◆软件： Microsoft?? Windows XP专业版下运行的ZYGO MetroProTM 软件

◆尺寸(高x宽x长)：水平式4″: 308 x 694 x 308 mm，水平式6″: 308 x 992 x 308 mm，立式: H x 686x686 mm

激光：

◆类型： II 级 氦-氖激光

◆波长： 632.8 nm

◆通光孔径输出功率：≤ 1 mw

◆光束偏振态 ：圆偏振，可选线偏振开关

◆相干长度： ＞100 m