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- RIE-24000反应离子刻蚀机(带Load_Lock装置)
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- 本设备带有进/取样室、真空锁和机械手自动送/取样片装置。主要用于平板显示中玻璃基板上 （500×400mm）刻蚀SiO2，Si3N4等。
- 2018-06-25 15:44 立即抢批
- RIE-3反应离子刻蚀机
- 面议
- 2018-06-05 11:45 立即抢批
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