日本NIKON尼康合成石英玻璃NIFS系列是集结了尼康近百年来在光学领域的技术经验开发制造的一款产品。
普通石英玻璃,一般具有杂质少、透光率高、耐热性好等特点。尼康石英玻璃是由气炼法(CVD法)制作而成,不仅具有普通石英玻璃的所有特点,还拥有优良的光学特性(可按照使用用途、尺寸、使用波长等光学特性选择各种级别)。
型号
NIFS
厚度
1300mm
颜色
透明
莫氏硬度
5-6
密度
2.2g/cm3
透光率
99.9%
纯度
高纯
耐热性
0.79J/g*k
特点:
·纯度高。0气泡(识别气泡杂质起点为直径≦0.05mm的不计算在内。
·硬度大。可达莫氏七级。
·耐高温。
·膨胀系数低。
·耐热震性、化学稳定性和电绝缘性良好。
内部透光率(%)
级别
适合波长范围
试料厚度:10mm
特点
NIFS-V
ArF(193nm)
≧99.9(at 193nm)
高透光率,激光耐久性强
NIFS-A
ArF(193nm)
≧99.9(at 193nm)
高透过率
NIFS-U
KrF(248nm)
≧99.9(at 248nm)
高透过率。可提供高达2000mm角的大型高品质素材。
NIFS-S
紫外领域·可视领域
≧99.9(at 365nm)
高透过率。可提供高达2000mm角的大型高品质素材。
NIFS-I
非光学用途
-
用于非光学体系。适合高纯度治具。可提供高达2000mm角素材。
·紫外线、高输出激光用光学部品
·半导体/FPD光掩模用合成石英玻璃基板
·露光装置用镜片·光学部品
·石英晶片
·TFT、CCD等各种元件用基板
·面向天文领域用光学部品
·医疗领域用光学部品
·半导体制造用部材
光透过特性 ---真空紫外·可视·红外领域---