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主要特点：
应用领域：
技术参数：
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项次 |
项目 |
具体参数 |
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1 |
输出项目 |
相位差【nm】，轴方向【°】 |
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2 |
测量波长 |
543nm（支持客制化） |
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3 |
双折射测量范围 |
0-260nm（支持客制化） |
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4 |
主轴方位范围 |
0-180° |
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5 |
测量重复精度 |
<1nm（西格玛） |
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6 |
测量尺寸 |
A4(标准) |
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7 |
定制选项 |
可定制大载台 |
