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光刻机

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中电科集团公司第四十五研究所 进入店铺

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中电科集团公司第四十五研究所
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经营模式：制造商,服务商
经营范围：晶圆颗粒生产加工服务;集成电路专用设备、电子元器件设备及光电器件设备、电子工业专用设备、自动化装备及机电类产品、机械零配件的设计、销售、安装调试、技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务、技术培训(不得面向全国招生);货物进出口、技术进出口、代理进出口;国内贸易代理。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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所属分类：半导体 » 半导体制造设备 » 光刻机
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BG-406系列曝光机（光刻机）主要用于中小规模集成电路、二极管、三极管、LED、电力电子器件、MEMS和其它半导体器件制造工艺中的对准及曝光。该系列曝光机由4英寸、6英寸单/双面曝光机组成，可实现单/双面对准、单面曝光、间隙曝光、全曝光。

主要技术特点

对准工作台
对准精度高，漂移小。精密楔形误差补偿机构实现三点找平，找平力小，延长掩模版使用寿命。
曝光系统
采用柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球镜等精密光学件，具有较高的光强、均匀性、光学分辨率。
分离视场显微镜
在X、Y方向通过操作杆可实现大范围扫描观察，可进行单视场或双视场切换，提高对准效率和套刻精度，同时兼容CCD成像液晶显示功能。
控制系统

电气控制采用工控机，人机界面操作菜单清晰，操作方便，汞灯电源易于触发，可靠性高。该设备的关键件采用进口或专业厂家制造，提高了设备的稳定性、可靠性，同时提供个性化服务。

关键词：光刻机,供应,半导体,半导体制造设备,光刻机